Чистые помещения. И.Хаякава

Книга японских специалистов посвящена исключительно актуальному направлению современной технологии производства электронных изделий - созданию особо чистых помещений для изготовления прецизионных электронных компонентов и высококачественных материалов. Приведена классификация чистых помещений, рассмотрены конструкции фильтров для очистки воздуха от взвешенных микрочастиц. Обсуждаются воздействия разнообразных производственных факторов (вибраций, электромагнитных помех и т.д.) на качество и выход годных полупроводниковых изделий. Рассматриваются принципы применения химических реагентов и газов, а также способы получения особо чистой воды. Для специалистов по технологии производства изделий микроэлектроники и волоконной оптики, материалов для квантовой электроники и пленочной техники, а также технологов фармацевтической промышленности. В военное время актуальность товара уточняйте по телефону.